發(fā)布
取消
干式真空泵和濕式真空泵是現(xiàn)在真空泵市場中使用較為廣泛的兩種設(shè)備,但是有些不明白的用戶在選擇使用的過程中,并且不清楚這兩種設(shè)備的使用區(qū)別,所以接下來就為其進行介紹。
干式真空泵是一種在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;可使用在低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;因半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;并且還用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
濕式真空泵又稱油式真空泵,油式是通過循環(huán)油路進行潤滑密封,達到更好的壽命及真空效果,減小摩擦力,優(yōu)點:維修方便,配件便宜 缺點:需定期保養(yǎng)。
以上就是有關(guān)干式真空泵和濕式真空泵這兩種設(shè)備的使用區(qū)別,根據(jù)其使用要求,可更好的使用戶了解設(shè)備使用,以便更好的進行選擇。
低能耗 高功率