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近日,新疆眾和股份有限公司6N(99.9999%)級(jí)以上超高純鋁研發(fā)成功,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。
國(guó)際第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)法國(guó)圖盧茲EAG實(shí)驗(yàn)室出具的檢測(cè)分析報(bào)告顯示,新疆眾和提供的6N級(jí)以上超高純鋁樣的關(guān)鍵微量元素均達(dá)到了ppb(濃度達(dá)到10億分之1)級(jí)別,滿(mǎn)足高端半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)工藝要求。6N級(jí)以上超高純鋁研發(fā)成功為我國(guó)高端半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展提供了穩(wěn)定可靠的超高純鋁材料,實(shí)現(xiàn)了超高純鋁提純技術(shù)的歷史性突破。
6N級(jí)以上超高純鋁的研發(fā)是新疆眾和自主開(kāi)發(fā)的系統(tǒng)性科技創(chuàng)新項(xiàng)目。在一年多的研發(fā)過(guò)程中,新疆眾和高純鋁研發(fā)技術(shù)團(tuán)隊(duì)以公司獨(dú)特的“定制普鋁+三層提純+偏析提純”高純鋁提純產(chǎn)業(yè)鏈為基礎(chǔ),發(fā)揮產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢(shì),利用內(nèi)部普鋁電解提供的優(yōu)質(zhì)原材料,攻克了在4N—5N超高純提純階段的關(guān)鍵元素及反偏析元素的核心難點(diǎn)。同時(shí),研發(fā)團(tuán)隊(duì)通過(guò)反復(fù)試驗(yàn),尋找、優(yōu)化提純工藝核心裝備與工藝技術(shù)的最佳匹配參數(shù),徹底解決了超高純鋁提純二次污染的瓶頸問(wèn)題,圓滿(mǎn)完成6N級(jí)以上超高純鋁研發(fā)項(xiàng)目。
新疆眾和6N超高純鋁的研制成功對(duì)推進(jìn)高端半導(dǎo)體芯片材料的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程具有重大意義,標(biāo)志著新疆眾和高純鋁提純技術(shù)達(dá)到世界先進(jìn)水平。
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